TY - JOUR AU - Samira Kaviani AU - Mohsen Bahrami AU - Amir Monemian Esfahani AU - Behzad Parsi TI - A modeling and vibration analysis of a piezoelectric micro-pump diaphragm JO - Comptes Rendus. Mécanique PY - 2014 SP - 692 EP - 699 VL - 342 IS - 12 PB - Elsevier DO - 10.1016/j.crme.2014.06.005 LA - en ID - CRMECA_2014__342_12_692_0 ER -