%0 Journal Article
%A Michel Brillouët
%T An introduction to ultimate lithography
%J Comptes Rendus. Physique
%D 2006
%P 837-840
%V 7
%N 8
%I Elsevier
%R 10.1016/j.crhy.2006.10.008
%G en
%F CRPHYS_2006__7_8_837_0