TY  - JOUR
AU  - Michel Brillouët
TI  - An introduction to ultimate lithography
JO  - Comptes Rendus. Physique
PY  - 2006
SP  - 837
EP  - 840
VL  - 7
IS  - 8
PB  - Elsevier
DO  - 10.1016/j.crhy.2006.10.008
LA  - en
ID  - CRPHYS_2006__7_8_837_0
ER  -