TY  - JOUR
AU  - Kurt Ronse
TI  - Optical lithography—a historical perspective
JO  - Comptes Rendus. Physique
PY  - 2006
SP  - 844
EP  - 857
VL  - 7
IS  - 8
PB  - Elsevier
DO  - 10.1016/j.crhy.2006.10.007
LA  - en
ID  - CRPHYS_2006__7_8_844_0
ER  -