TY  - JOUR
AU  - Burn J. Lin
TI  - Optical lithography—present and future challenges
JO  - Comptes Rendus. Physique
PY  - 2006
SP  - 858
EP  - 874
VL  - 7
IS  - 8
PB  - Elsevier
DO  - 10.1016/j.crhy.2006.10.005
LA  - en
ID  - CRPHYS_2006__7_8_858_0
ER  -