TY  - JOUR
AU  - Kevin Kemp
AU  - Stefan Wurm
TI  - EUV lithography
JO  - Comptes Rendus. Physique
PY  - 2006
SP  - 875
EP  - 886
VL  - 7
IS  - 8
PB  - Elsevier
DO  - 10.1016/j.crhy.2006.10.002
LA  - en
ID  - CRPHYS_2006__7_8_875_0
ER  -