TY  - JOUR
AU  - Carlo Reita
TI  - Advanced mask manufacturing
JO  - Comptes Rendus. Physique
PY  - 2006
SP  - 896
EP  - 909
VL  - 7
IS  - 8
PB  - Elsevier
DO  - 10.1016/j.crhy.2006.10.006
LA  - en
ID  - CRPHYS_2006__7_8_896_0
ER  -