TY  - JOUR
AU  - Stephen Knight
AU  - Ronald Dixson
AU  - Ronald L. Jones
AU  - Eric K. Lin
AU  - Ndubuisi G. Orji
AU  - R. Silver
AU  - John S. Villarrubia
AU  - András E. Vladár
AU  - Wen-li Wu
TI  - Advanced metrology needs for nanoelectronics lithography
JO  - Comptes Rendus. Physique
PY  - 2006
SP  - 931
EP  - 941
VL  - 7
IS  - 8
PB  - Elsevier
DO  - 10.1016/j.crhy.2006.10.004
LA  - en
ID  - CRPHYS_2006__7_8_931_0
ER  -