[De la lumière sur le nanomonde : nanostructures limitées par la diffusion obtenues par dépôt d'atomes focalisés par laser]
Le rôle de la diffusion de surface dans la fabrication de nanostructures par lithographie d'atomes focalisés par laser (atomes « froids »), est étudiée en utilisant des simulations Monte Carlo cinétiques d'un modèle de croissance qui tient compte de la formation spontanée d'ı̂lots 3D. Contrairement à l'intuition, il s'avère que la taille latérale des nanostructures est peu sensible à la diffusion de surface des adatomes déposés, même lorsque la longueur de diffusion des adatomes dépasse la longueur d'onde de l'onde stationnaire des faisceaux laser.
We study the role of surface diffusion in the fabrication of nanostructures by laser-focused (“cold”) atom lithography, using kinetic Monte Carlo simulations of a growth model that accounts for spontaneous organisation of 3D islands. Contrary to intuition, we find that the lateral size of the nanostructures is barely affected by surface diffusion of deposited adatoms, even when the adatom diffusion length exceeds the standing-wave field wavelength.
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Mot clés : Optique atomique, Lithographie atomique, Dépôt d'atomes focalisés par laser, Nanostructures, Nanofabrication
Florin Nita 1, 2 ; Alberto Pimpinelli 1
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Florin Nita; Alberto Pimpinelli. Shedding light on the nanoworld: diffusion-limited nanostructures from laser-focused atom deposition. Comptes Rendus. Physique, Volume 5 (2004) no. 1, pp. 149-153. doi : 10.1016/j.crhy.2003.12.002. https://comptes-rendus.academie-sciences.fr/physique/articles/10.1016/j.crhy.2003.12.002/
[1] Rev. Mod. Phys., 71 (1999), p. 1125
[2] Proceedings of the 10th Toyota Conference on “Atomic, Molecular, and Electronic Dynamic Processes on Solid Surfaces” (M. Aono; M. Kawai, eds.), Surface Sci., 386 (1997), p. 169
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[6] Phys. Rev. Lett., 69 (1992), p. 1636
[7] Science, 262 (1993), p. 877
[8] Appl. Phys. Lett., 70 (1997), p. 2565
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[10] J. Appl. Phys., 40 (1969), p. 614
[11] Appl. Surf. Sci., 141 (1999), p. 210
[12] Appl. Surf. Sci., 104/105 (1996), p. 291
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