Relaxation plastique d'un film mince par émission de dislocations filantes vis

Roland Bonnet; Sami Youssef; Salem Neily; A.K. Gutakowskii

doi:10.1016/j.crhy.2008.01.005

Physique/Surfaces, interfaces, films

Relaxation plastique d'un film mince par émission de dislocations filantes vis

Présenté par : Jacques Villain

Roland Bonnet ¹ ; Sami Youssef ² ; Salem Neily ² ; A.K. Gutakowskii ³

¹ Science et ingéniérie des matériaux et procédés, INPGrenoble-CNRS-UJF, domaine universitaire, BP 75, 38402 Saint Martin d'Hères, France
² Unité de recherche : physique du solide, faculté des sciences de Monastir, boulevard de l'environnement, 5019 Monastir, Tunisie
³ Institute of Semiconductor Physics, Novosibirsk 630090, Russie

Comptes Rendus. Physique, Volume 9 (2008) no. 2, pp. 276-282.

Résumé
Abstract

Le système formé par un film mince cohérent avec un substrat cristallin peut relaxer plastiquement son énergie interne par un recuit. Les dislocations filantes émises dans les dix premières minutes du recuit à 350 °C de l'hétérostructure Si_0.68Ge_0.32/Si(001) sont observées en microscopie électronique à transmission, puis identifiées par comparaison avec des images simulées de dislocations anguleuses supposées en milieu semi-infini. Elles sont de nature vis, ce qui explique la couverture rapide de l'interface par des dislocations à 60° orientées 〈110〉.

The system formed by a thin film coherent with a crystalline substrate can relax its internal energy by annealing. Threading dislocations emitted after ten minutes annealing at 350 °C of the Si_0.68Ge_0.32/Si(001) heterostructure are observed in transmission electron microscopy, and then identified by comparison to simulated images of angular dislocations placed in a semi infinite medium. They are of screw character, which explains the rapid coverage of the interface by 60° dislocations oriented 〈110〉.

Reçu le : 2007-08-20
Accepté le : 2008-01-31
Publié le : 2008-03-01

DOI : 10.1016/j.crhy.2008.01.005

Mot clés : Film mince, Dislocations, Microscopie électronique à transmission
Keywords: Thin film, Dislocations, Transmission electron microscopy

Affiliations des auteurs :

Roland Bonnet ¹ ; Sami Youssef ² ; Salem Neily ² ; A.K. Gutakowskii ³

¹ Science et ingéniérie des matériaux et procédés, INPGrenoble-CNRS-UJF, domaine universitaire, BP 75, 38402 Saint Martin d'Hères, France
² Unité de recherche : physique du solide, faculté des sciences de Monastir, boulevard de l'environnement, 5019 Monastir, Tunisie
³ Institute of Semiconductor Physics, Novosibirsk 630090, Russie

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Roland Bonnet; Sami Youssef; Salem Neily; A.K. Gutakowskii. Relaxation plastique d'un film mince par émission de dislocations filantes vis. Comptes Rendus. Physique, Volume 9 (2008) no. 2, pp. 276-282. doi : 10.1016/j.crhy.2008.01.005. https://comptes-rendus.academie-sciences.fr/physique/articles/10.1016/j.crhy.2008.01.005/

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