Comptes Rendus
no. 5-6
Infrared sensors based on multi-wall carbon nanotube films
[Senseurs infrarouges à base de couches minces de nanotubes de carbone multi-parois]
Philippe Mérel1  ; Jean-Baptiste Anumu Kpetsu2  ; Charlie Koechlin3  ; Sylvain Maine3  ; Riad Haidar3  ; Jean-Luc Pélouard4  ; Andranik Sarkissian2  ; Mihnea Ioan Ionescu5  ; Xueliang Sun5  ; Philips Laou1  ; Suzanne Paradis1
1 DRDC Valcartier, 2459, boulevard Pie-XI, Québec, Québec, Canada G3J 1X5
2 Plasmionique Inc. 9092 Rimouski, Brossard, Québec, Canada J4X 2S3
3 Le centre français de recherche aérospatiale ONERA, chemin de la Hunière, 91761 Palaiseau cedex, France
4 Laboratoire de photonique et de nanostructures du CNRS, route de Nozay, 91460 Marcoussis, France
5 University of Western Ontario, Department of Mechanical and Materials Engineering, London, Ontario, Canada N6A 5B9
Comptes Rendus. Physique, Volume 11 (2010) no. 5-6, pp. 375-380.

Des couches denses de nanotubes de carbone multi-parois ont été synthétisées par un procédé plasma sur des substrats de silicium et d'alumine dans le but de fabriquer un nouveau type de capteur infrarouge. Les propriétés physiques et optiques des dispositifs ont été étudiées grâce à diverses méthodes. Les dispositifs à base de nanotubes sur silicium démontrent une réponse infrarouge maximum à une longueur d'onde de 1,02 μm. La réponse infrarouge des dispositifs de nanotubes sur alumine peut être expliquée par un effet bolométrique. Il est aussi déterminé que la réponse spectrale de cet échantillon s'étend du visible à l'infrarouge lointain.

In order to fabricate novel infrared sensors, dense films of multi-wall carbon nanotubes have been grown on silicon and alumina substrates, using Plasma enhanced Chemical Vapour Deposition technique. The physical and optical characteristics of the devices were studied using a variety of methods. The carbon nanotube on silicon device showed a peak response at a wavelength of 1.02 μm. The infrared response of the carbon nanotube on alumina device showed that the detection behavior was consistent with a bolometric effect. Measurements have also revealed a wide spectral response from the visible to the long-wave infrared for that sample.

Publié le :
DOI : 10.1016/j.crhy.2010.06.007
Keywords: Carbon, Nanotube, Multi-wall, Infrared, Sensor, Microbolometer
Mot clés : Nanotubes, Carbone, Multi-parois, Infrarouge, Capteur, Micro-bolomètre
Philippe Mérel 1 ; Jean-Baptiste Anumu Kpetsu 2 ; Charlie Koechlin 3 ; Sylvain Maine 3 ; Riad Haidar 3 ; Jean-Luc Pélouard 4 ; Andranik Sarkissian 2 ; Mihnea Ioan Ionescu 5 ; Xueliang Sun 5 ; Philips Laou 1 ; Suzanne Paradis 1

1 DRDC Valcartier, 2459, boulevard Pie-XI, Québec, Québec, Canada G3J 1X5
2 Plasmionique Inc. 9092 Rimouski, Brossard, Québec, Canada J4X 2S3
3 Le centre français de recherche aérospatiale ONERA, chemin de la Hunière, 91761 Palaiseau cedex, France
4 Laboratoire de photonique et de nanostructures du CNRS, route de Nozay, 91460 Marcoussis, France
5 University of Western Ontario, Department of Mechanical and Materials Engineering, London, Ontario, Canada N6A 5B9 
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