Photosensitive resists for optical lithography

Bénédicte Mortini

doi:10.1016/j.crhy.2006.10.010

Photosensitive resists for optical lithography
[Résines photosensibles pour la lithographie optique]

Bénédicte Mortini ¹

¹ STMicroelectronics, 850, rue Jean-Monnet, 38920 Crolles, France

Comptes Rendus. Physique, Volume 7 (2006) no. 8, pp. 924-930.

Résumé
Abstract

La lithographie optique utilise des matériaux photosensibles pour transférer l'image aérienne dans le substrat. Ces photorésines n'ont cessé d'être améliorées pour suivre les innovations des outils de lithographie visant un transfert de motif de meilleure qualité. Après une description du procédé résine et des critères photolithographiques de tels matériaux, cet article se focalisera sur les résines à amplification chimique en particulier pour la lithographie 193 nm. Il traitera ensuite des défis additionnels de la lithographie en immersion avant de donner des perspectives.

Optical lithography relies on photosensitive materials to transfer the aerial image into the substrate. These photoresists have been steadily improved to keep up with the innovations in the lithography tools targeting a higher fidelity in the pattern transfer. After describing the resist process and the photolithographic criteria for such materials, this article will focus on the Chemically Amplified Resists (CAR) especially for the 193 nm lithography. The added challenges of the immersion lithography will then be addressed and some perspectives will be given.

Publié le : 2006-10-01

DOI : 10.1016/j.crhy.2006.10.010

Keywords: Chemically Amplified Resist, Post-exposure bake, Immersion lithography
Mot clés : Résine à amplification chimique, Recuit post-exposition, Lithographie en immersion

Affiliations des auteurs :

Bénédicte Mortini ¹

¹ STMicroelectronics, 850, rue Jean-Monnet, 38920 Crolles, France

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Bénédicte Mortini. Photosensitive resists for optical lithography. Comptes Rendus. Physique, Volume 7 (2006) no. 8, pp. 924-930. doi : 10.1016/j.crhy.2006.10.010. https://comptes-rendus.academie-sciences.fr/physique/articles/10.1016/j.crhy.2006.10.010/

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