La lithographie a été le facteur clé pour réduire les tailles de motifs des circuits intégrés, ce qui a permis une croissance exponentielle de l'industrie du semiconducteur. Cet article décrira brièvement les enjeux majeurs de cette technologie en microélectronique et introduira les revues présentées dans ce dossier.

Publié le : 2006-10-01
DOI : 10.1016/j.crhy.2006.10.008

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Michel Brillouët. An introduction to ultimate lithography. Comptes Rendus. Physique, Volume 7 (2006) no. 8, pp. 837-840. doi : 10.1016/j.crhy.2006.10.008. https://comptes-rendus.academie-sciences.fr/physique/articles/10.1016/j.crhy.2006.10.008/